中(zhōng)微半導體(tǐ)設備 (上海) 股份有限公司創辦于 2004 年，主要從事高端半導體(tǐ)設備及泛半導 體(tǐ)設備的研發、生(shēng)産和銷售。公司瞄準世界科技前沿基于在半導體(tǐ)設備制造産業多年積累的 專業技術涉足半導體(tǐ)集成電路制造、先進封裝、LED 外(wài)延片生(shēng)産、功率器件、MEMS 制造以 及其他微觀工(gōng)藝的高端設備領域。公司的等離(lí)子體(tǐ)刻蝕設備已應用在國際一(yī)線客戶從 65 納 米到 14 納米、7 納米和 5 納米及其他先進的集成電路加工(gōng)制造生(shēng)産線及先進封裝生(shēng)産線。 公司 MOCVD 設備在行業領先客戶的生(shēng)産線上大(dà)規模投入量産，公司已成爲世界排名前列的 氮化镓基 LED 設備制造商(shāng)。 2019 年 7 月 22 日中(zhōng)微半導體(tǐ)獲證監會批準準予科創闆首次公開(kāi)發行股票注冊成爲科創闆 開(kāi)闆以來首批獲批上市企業之一(yī)，市值最高超過 1500 億元。