近日，中(zhōng)微公司宣布其MOCVD設備系列喜迎又(yòu)一(yī)裏程碑：全球第500台MOCVD設備順利付運國内領先的LED外(wài)延片和芯片研發生(shēng)産制造商(shāng)。

中(zhōng)微公司表示，本批次運付的第500台MOCVD設備爲Prismo UniMax，主要用于氮化镓基Mini LED外(wài)延片量産。随着近些年來光電産業的飛速發展，Mini LED已廣泛應用于電視、筆記本電腦、平闆電腦、桌面顯示器、車(chē)載顯示屏、戶外(wài)顯示屏等終端産品。

官方介紹稱，Prismo UniMax是專爲高性能Mini LED量産而設計的MOCVD設備，其具備高産能和高靈活性的特點，在同一(yī)系統中(zhōng)可配備多達4個反應腔，每個反應腔均可實現獨立控制。Prismo UniMax配置了785mm大(dà)直徑石墨托盤，通過石墨托盤的不同設計配置，最多可實現同時加工(gōng)164片4英寸或72片6英寸外(wài)延晶片，有效提高産能并降低生(shēng)産成本。此外(wài)，Prismo UniMax創新的多區輔助加熱調節系統，能精确控制托盤局部區域溫度，有助于更大(dà)程度提升LED波長均勻性。